产品优势：
全中文化自动控制系统。
高性能真空抽气系统。
两组可切换式蒸镀源。
膜厚检测系统。
技术参数：
●型号：KD-Fingerprint/Thermal
●腔体尺寸：600x600x750mm,Sus304不锈钢材质，内外点解抛光，外焊冷却水路
●试片证物放置台：半圆型可拉出式载台，试片证物可利用磁铁固定于载台上
●蒸镀源功率：200A/10V蒸镀源电源供应器，10转可调式精密输出控制高功率，4-1/2数位显示电流表
●蒸镀源切换装置：可二组或以上之蒸镀源自动切换蒸镀
●高真空邦浦：扩散泵浦，抽气效率:3400L/S
●低真空邦浦：油回转式机械泵浦，抽气效率：600L/min
●一高两低真空计：1 ATM -10-9 TORR FULL RANGE 3 SENSORS
●膜厚检测器：多功能LCD荧幕，镀膜解析度 0.02A/SEC,量测速率：0.1sec,RS-32INTERFACE
●人机界面控制器：彩色中文化软件，阀门各元件互锁保护，故障原因及记录，自动或手动控制切换，参数存储和记忆功能，异常警报功能，NFB漏电保护功能，配电盘水电隔离装置，紧急停止按钮，阀门用常闭装置防止断电油气回渗
●真空性能：30MIN ≤ 50X10-6TORR
A.
真空舱体 :
1.Batch type 马蹄形前门
2.舱体材质：SUS304L不锈钢板
3.腔体表面：內外拋光电解处理
4.腔体尺寸：不小于 600 x 600 x 750 mm
5.腔体外部冷卻：腔体外焊接方型不锈钢冷卻水管路，以具备水冷卻功能，除腔体四周外，还需包括对舱门冷却
6.6” 视窗，含防镀玻璃
7.舱体内部及镀膜承载器均为不锈钢板
B.
泵系统 :
高性能新型联合泵浦系统，最低真空度可低于10-8 Torr。
C.
真空计
C.1 舱体全领域真空计要求 （ Convectron + Cold Cathode Gauge ）
1. 真空测量范围不低于 : 1 ATM – 10-10 Torr
2. 可设定单位为: Torr , mBar , Pascal
3. 操作介面RS232 I/O
C.2 舱体电容式真空计要求
1. 真空度测量范围: 1 Torr Full Scale Range
2. 精准度不低于 ：0.50%
3. 压力限制：45 Psig Overpressure Limit
D. 蒸发源
1. 至少具有金，锌独立蒸发源
2. 金 低于2 X 10-5 mbar
锌 低于3 x 10-4 和5 x 10-4 mbar
3. 4-1/2数位显示电流表，可观察到金或锌等实际蒸发状态。
4、具有手动和自动2种金属挥发方式；除常规手动控制方式外；还必须具有自动控制方式，在自动控制状态下，可对金或锌等蒸发源进行数字化缓慢精细控制挥发，挥发速率可根据使用者要求调整。
5、可控温度控制器SCR / PID
6、每种蒸发源均具有独立不锈钢防污盖板，在蒸发时可先手动或自动开启，在蒸发后手动或自动关闭；防止一种金属蒸发源蒸发后落下污染另一种蒸发源，造成污染。
*E . 必须具有膜厚计，可检测金属挥发状况
1. 测量速度不低于 : 0.1 Second
2. 速率显示分辨率不低于 : 0.02 Angstrom per Second ( AL )
3. 显示屏 : Multiple Function LCD w/ LED Backlight
4. 变量: 6 参数 /薄膜
5. 操作界面 : RS-232
6. 薄厚计使用寿命可记录显示，作为其使用寿命判断依据
*F. 镀膜承载器 .
1. 镀膜承载面积不小于 800 x 600 mm
2. 具有公转载物台，可进行公转，速率可调： 5-20 rpm ，可对立体被镀物体进行360度旋转镀膜。
G. 冷水机 1台
1. 制冷力 : 12000 / 24000
2. 水泵浦馬力 : 0.5 / 1
3. 水流速率( L / min ) : 30 / 30
4. 水箱容量 ( L ) : 26 / 45
5. 冷媒 : R134A . R 407C
H、 空壓機 1台
I. 人机界面控制系统
1. PLC可程式逻辑控制器及10吋彩色触控式触摸屏，必须具有中文界面。
2. 系統控制介面具有参数设定、系统履历、异常信息、系统权限登陆、制程参数设定、
自动/手动抽气控制等功能选项，所有阀门、泵浦互锁安全保护
3. 系统控制权限设定具有低阶，中阶及高阶三种权限模式，分别给以不同操作方式来操作系统。
4. 系统参数设定具有系统控制权限密码功能设定，各式阀门延时开启，关闭时间，设定及各项异常状况侦测功能及警示设定
5 系统履历功能可记录异常状况情形，发生日期时间等。
6. 具备进极停止按钮，冷却水循环，电磁式水流自动开关器等。
L. 安装条件 :
安装面积 ：W: 3m x D : 3m x H 2 m
*M. 指纹显现真空镀膜系统所需备品耗材 :
1. 指纹显现镀膜用金丝：0.1mm x L : 1m长 1条
2. 指纹显现镀膜用鋅粒 ：50克
3. 指纹显现镀膜用之钨舟： 10 片
4. 指纹显现镀膜用所需监控之石英振荡片 6MHz：10 片
5. 腔体视窗口之防镀玻璃：10片
6. 腔体內部照明灯 6 組
